MEMS a MOEMS jsou anglické zkratky pro Micro Electro Mechanical Systems a Micro Opto Electro Mechanical Systems. Německé zdroje používají pro podobné komponenty název Micro Systeme (Technik). Japonské zdroje používají termín Micro Machines. Mikro Elektro Mechanické systémy - systémy s mikro rozměry, ve kterých jsou čidla, ovladače a/nebo elektrické obvody integrovány na čipu pomocí polovodičových procesů.
Mikroelektromechanická součástka - součástka s mikro rozměry, ve které jsou integrovány ovladače, čidla, mechanické komponenty a/nebo elektrické obvody. Mikro stroj je miniaturizovaná součástka, jejíž komponenty mají velikost několika milimetrů, nebo mikrosystém, který byl vytvořen integrací takových součástek.
Mikrostrojní technologie jsou technologie, které se vztahují k mikro strojům. Mikro věda a mikro technika (micro-science and engineering) - věda a technika pro mikroskopický svět mikro strojů. Jev měřítka souvisí se změnami v chování objektů nebo vlastností způsobené změnou rozměrů objektů.
Mikro tribologie je tribologie pro mikroskopický svět mikro strojů. Biomimetika je vytváření funkcí, které napodobují pohyby nebo mechanizmy organizmů.
Samoorganizace je organizace systému bez jakékoli vnější manipulace nebo řízení, kde působením kolektivní interakce mezi velkým počtem malých mikroskopických objektů nebo jevů samovolně zaniká nerovnovážná struktura.