Sputter-Ionenquelle

Bei einer Sputter-Ionenquelle werden Teilchen auf ein Target hin beschleunigt, wo sie Atome des Materials herausschlagen (vgl. Sputtern) und ionisieren. Diese Ionen werden dann durch elektrische Felder abgesaugt und bilden einen Ionenstrahl, zum Beispiel für einen Teilchenbeschleuniger.