Nitrate d'hafnium

	Nitrate d'hafnium
	Ions constitutifs du nitrate d'hafnium
Identification
Nom systématique	nitrate d'hafnium(IV)
Synonymes	nitrate d'hafnium
No CAS	15509-05-4
No ECHA	100.035.927
No CE	239-536-7
PubChem	167292
SMILES
InChI
Propriétés chimiques
Formule	Hf(NO3)4
Masse molaire	426,51 ± 0,02 g/mol ; Hf 41,85 %, N 13,14 %, O 45,01 %,
Précautions
SGH
	; DangerH272, H315, H319, H335, P210, P220, P221, P305+P351+P338, P405 et P501
Transport
	-
	1477
	Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.
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Le nitrate d'hafnium est un composé chimique de formule Hf(NO₃)₄. C'est un sel d'hafnium et d'acide nitrique HNO₃. Il s'agit d'un solide légèrement volatil pouvant être sublimé à 110 °C sous 0,1 mmHg, ce qui permet de l'utiliser pour déposer des couches minces de dioxyde d'hafnium HfO₂ par atomic layer deposition car il se décompose au-delà de 160 °C en HfO(NO₃)₂ puis en HfO₂^[3].

Il peut être obtenu par réaction de tétrachlorure d'hafnium HfCl₄ avec du pentoxyde d'azote N₂O₅^[4].

↑ Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
↑ ^{a et b} (en) « Hafnium Nitrate », sur americanelements.com, American Elements (en) (consulté le 23 décembre 2022).
↑ (en) J. F. Conley Jr., Y. Ono, W. Zhuang, D. J. Tweet, W. Gao, S. K. Mohammed et R. Solanki, « Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide Using Anhydrous Hafnium Nitrate », Electrochemical and Solid-State Letters, vol. 5, n^o 5,‎ 26 février 2002, p. C57 (DOI 10.1149/1.1462875, lire en ligne).
↑ (en) Weiwei Zhuang, John F. Conley, Yoshi Ono, David R. Evans et R. Solanki, « Hafnium Nitrate Precursor Synthesis and HfO₂ Thin Film Deposition », Integrated Ferroelectrics, vol. 48, n^o 1,‎ 2002, p. 3-12 (DOI 10.1080/10584580215449, S2CID 50290009, lire en ligne).