Svepelektronmikroskop

Svepelektronmikroskop, scanning electron microscope eller SEM är en typ av elektronmikroskop som skapar bilder av objekt genom att scanna det med en fokuserad elektronstråle med ett rastermönster. Elektronerna interagerar med atomerna på objektet vilket i sin tur sänder tillbaka signaler om objektets yttopografi, sammansättning och andra egenskaper som exempelvis ledningsförmåga. I det vanligaste SEM-läget detekteras sekundära elektroner som emitteras av atomer som exciteras av elektronstrålen med hjälp av en sekundär elektrondetektor (Everhart–Thornley-detektor). Antalet sekundära elektroner som kan detekteras, och därmed signalintensiteten, beror bland annat på provets topografi. Vissa SEM kan uppnå upplösningar bättre än 1 nanometer.

Prover observeras i högt vakuum i en konventionell SEM, eller i lågvakuum eller våta förhållanden i ett variabelt tryck eller miljö-SEM, och vid ett brett spektrum av kryogena eller förhöjda temperaturer med specialiserade instrument.^[1]