Helium-Atom-Streuung (HAS) (auch Heliumatomstrahlstreuung) ist eine Charakterisierungsmethode für Oberflächen (Oberflächenphysik). Sie kann zur Untersuchung der Oberfläche von kristallinen Substraten im Ultra-Hoch-Vakuum (UHV) eingesetzt werden. Dabei wird ein Heliumgasstrahl an der periodischen Oberfläche der Einkristalle gebeugt. Aus der Form der so bestimmten „Beugung-Peaks“ lassen sich die Qualität der Oberfläche sowie die mittlere Terrassenbreite und auch die mittlere Terrassenhöhe ermitteln. Weiterhin können mit Hilfe von HAS Gitterkonstanten, Desorptionsenergien und Phononen untersucht werden.