Ionenstrahl

Vakuumanlage, mit der unter anderem Mikrobearbeitung mit einem fokussierten Ionenstrahl möglich ist
Mikroskopisch kleine Kanäle eines Flüssigkeitssensors, hergestellt durch Ionenstrahlbearbeitung einer Silicium-Platte (Kanalbreite etwa 18 µm)

Bei einem Ionenstrahl (englisch charged particle beam) handelt es sich um einen mit Hilfe einer Ionenquelle erzeugten, sich im Vakuum bewegenden fokussierten Strahl geladener Teilchen, bzw. Ionen.

Strahlung aus radioaktiven Quellen, z. B. Alpha-, Beta-, oder Gamma zählt man zur ionisierenden Strahlung.


Ionenstrahl

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