Back ترسيب فيزيائي للبخار Arabic Deposició física de vapor Catalan Fyzikální depozice z plynné fáze Czech Physical vapor deposition English Deposición física de vapor Spanish انباشت بخار فیزیکی FA Dépôt physique par phase vapeur French Vakumsko taloženje Croatian Fizikai gőzfázisú leválasztás Hungarian Deposizione fisica da vapore Italian
Der Begriff physikalische Gasphasenabscheidung (englisch physical vapour deposition, kurz PVD), selten auch physikalische Dampfphasenabscheidung, bezeichnet eine Gruppe von vakuumbasierten Beschichtungsverfahren bzw. Dünnschichttechnologien. Anders als bei Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung wird mithilfe physikalischer Verfahren das Ausgangsmaterial in die Gasphase überführt. Das gasförmige Material wird anschließend zum zu beschichtenden Substrat geführt, wo es kondensiert und die Zielschicht bildet.