Back طباعة حجرية ضوئية Arabic Фотолитография Bulgarian Fotolitografia (electrònica) Catalan Fotolitografie Czech Fotolithografie (Halbleitertechnik) German Photolithography English Fotolitografía Spanish Fotolitografia EU طرحنگاری نوری FA Optinen litografia Finnish
Fotolitograafia ehk optiline litograafia on pooljuhttehnoloogia protsess, kus kujutis kantakse alusmaterjali ehk substraadi pinnale. Kasutatakse väga väikese lainepikkusega valgust (ultraviolettkiirgust), et kanda fotomaski kujutis alusel olevale valgustundlikule kemikaalile, s.o fotoresistile, millele järgneb söövitusprotsess.
Fotolitograafia on olnud valdavaks tehnikaks integraallülituste litografeerimisel, näiteks CMOS-kiip läbib fotolitograafia tsükli kuni 50 korda.