Back غرس الأيونات Arabic Йонна имплантация Bulgarian Implantació iònica Catalan Ionenimplantation German Ion implantation English Implantación de iones Spanish کاشت یون FA Implantation ionique French आयन रोपण HI Impiantazione ionica Italian
Ioonimplantatsioon on madalatemperatuurne protsess, mis seisneb ühe keemilise elemendi ioonide kiirendamises tahkest materjalist "märklaua" pihta, muutes seeläbi sihtmärgi füüsikalisi, keemilisi ja/või elektrilisi omadusi. Ioonimplantatsiooni kasutatakse pooljuhtseadmete valmistamisel, metallipindade viimistlemisel ning materjaliteaduses. Ioonid võivad muuta sihtmärgi elementkoostist (juhul kui sihtmärk algselt ei sisalda tema pihta "tulistatavaid" ioone), peatudes ja jäädes sihtmärki. Ioonimplantatsioon põhjustab ka keemilisi ja füüsikalisi muutusi, kui ioonid tabavad sihtmärki suure energiaga. Sihtmärgi kristallstruktuur võib energiarikaste ahelkokkupõrgete tõttu kahjustuda või isegi hävineda ning piisavalt suure energiaga ioonid (kümned MeV) võivad põhjustada muutusi aatomituumades.