Polysilazane

Un polysilazane est un polymère inorganique constitué d'une chaîne d'atomes alternativement de silicium et d'azote, de formule générique [–SiR¹R²–NR³]_n, dans laquelle R¹, R² et R³ peuvent représenter des atomes d'hydrogène ou des substituants organiques. Le disilazane H₃Si–NH–SiH₃, le trisilazane H₃Si–NH–SiH₂–NH–SiH₃ ou encore l'hexaméthyldisilazane (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ sont des exemples de polysilazanes simples.